ITO 등의 산화물 투명전극을 대체할 수 있는 높은 투과도와 전기 전도도 특성을 가진 투명전극에 대한 기술임
기판 상에 레지스트층을 일부 노광하여 나노 점 영역을 형성한 후 금속을 증착하고 레지스트를 제거하거나, 기판 상에 고분자 나노 입자를 포함하는 용액을 코팅한 후 금속을 증착하고 나노입자를 제거하는 등의 방법으로, 나노 홀 어레이가 형성된 투명전극을 제조함
금속 나노 홀 어레이에 의한 표면 플라즈몬 현상을 이용한 금속 막 구조 투명 자석 및 금속 막 구조 투명 자석 제작 방법에 대한 기술
본 기술의 금속 막 구조 투명 자석은 나노 홀 어레이가 형성되는 한층 이상의 금속 막을 포함하고, 한층 이상의 금속 막은, 나노 홀 어레이로 광이 입사 됨에 따라, 표면 플라즈몬(Surface Plasmon)을 발생하여 광투과성을 향상시키는 특징을 가짐
자외선 영역에서 높은 투과도와 우수한 전기전도도 특성을 갖는 투명 전극에 대한 기술임
기판에 이빔 레지스트 패턴층을 형성하고 패턴층 상에 금속층을 증착시킨후 레지스트를 제거하여 렌티큘러 형상의 금속 나노선이 교차되어 있는 금속 나노홀 어레이를 형성하고, 금속 나노홀 어레이 상에 그래핀층을 형성하여 자외선 영역에서 높은 투과도를 갖는 투명전극을 제조함